Posted in世界の研究所 技術・工学・物理・数学
世界の研究所 東北大学マイクロシステム融合研究センター 他
今週の世界の研究所は、MEMSの研究設備をとりあげます。東北大学のマイクロシステム融合研究開発センターです。 http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/memsintsukuba10.html 日本の大学でMEMS技術を研究しているセンターと言えばここでしょう。設備は試作コインランドリという名前を付けています。2000m2のクリーンルーム内にあります。年間経費4億円のうち、半分以上を委託費収入で賄っているようです。 http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/ 価格表も載っていますが、一時間2000円~25000円くらいです。例えば、電子ビーム蒸…