Posted in企業 技術・工学・物理・数学
micro LED のレーザースクレイピング
microLEDはサファイヤ基板上にドーピングをしながらGaN系半導体を成長させて作るのだと思います。GaNそのものは紫外線の領域に発光がありますが、Inを少し混ぜると青、Inをたくさん混ぜると緑(GaNと超格子を作って発光効率を上げる必要あり)、Euをドープすると赤(microLED応用で最近論文多数)となっています。作った後切り離してmicroLEDにしますが、通常の半導体用の回転ノコ(ダイサーdicer)では刃の厚みと素子の大きさがそう変わらないので無駄が多いです。ダイサーは日本のDiscoが高い世界シェアを持っています。 https://www.disco.co.jp/eg/solut…