micro LED の移送用高分子基板

micro LEDのチップ移送・ミクロン単位で狙って貼り付ける技術について、レーザーの会社COHERENTがyoutubeで装置を紹介しています。

信越化学の装置は下記の図から見ると大きそうです(2階建ての家くらい?)。
https://www.shinetsu-microled.jp/product_multi_laser_lift_off_equipment.html
部材の特許を見つけました。
https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6842404
微小な凹凸のある表面に粘着剤が塗ってあります。でっぱりの面積が小さいので、微小部品を簡単にくっつけたり離したりできるというわけですね。紫外レーザーを当てると高分子が加熱されて、凸凹に閉じ込められた空気が膨張するので、マイクロLEDチップが飛んでいくのでしょう。まっすぐ飛ばすためには、凹凸の大きさが一定なこと、凹凸や粘着剤の塗り方に欠陥がないことなどいろいろ条件がありそうで、東レや信越化学など高分子を扱うメーカーとしては技術力を要求されるいいビジネスになるでしょうね。レーザーがあっても移送用の高分子多層板がないとダメだと思うので、消耗品で売れ続けるのもいいですね。日本メーカーの収益源だった液晶用の偏光フィルムの需要は減っていると思いますが、有機ELの封止があり、次にマイクロLEDの搬送材があり、ディスプレイ関係の部材ビジネスは当分大丈夫そうです。売るときの荷姿はどうするのか、個別パッケージか、膜をロールで納品してマイクロLED製造装置が切り出して板に貼り付けるのか、輸送中の温度管理は、など、いろいろ工夫の余地がありそうで興味深いです。

荷姿 packing style, package
膨張 dilation, inflation, expansion, swelling, distention, intumescence ニュアンスがすこしずつ違います。
swell 膨らむ、膨満する  ス「ウェ」る
distention (tension 張力 の逆で膨張だと思いますが、綴りが違います)
sense of abdomen distention 腹部膨満感 
abdomen 「ア」ブドメン 腹部
surface tension 表面張力
inflate 空気を入れて膨らます 「イ」ンフれイト
inflation インフレ
expansion < expand 拡張
gastric dilation / dilatation of stomach 胃拡張
gastronomy 美食(学)、料理法 level 15 ギャスト「ロ」ノミー
intumescence インテュ「メ」センス 熱などで腫れあがること

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