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CeO2によるレンズ研磨はCMPの一種だった
古くから知られている研磨における化学効果の例としては、ガラスレンズを作る時の酸化セリウム(CeO2, セリア)による研磨があります。これは1933年ころ欧州のレンズメーカーで使われるようになったそうです。その後第二次大戦における光学機器の大量生産、1960年代のテレビのブラウン管の研磨等で世界中に広まったとのこと。歴史的経緯は下記に詳しいですが購読しないと読むことができません。 https://doi.org/10.1016/0925-8388(94)90243-7 上記によれば、そもそも研磨polishingと研削grindingの違いはレーリー卿(Lord Rayleigh)が1901年に…