フォトレジストの歴史と今後

フォトレジストの歴史は下記が詳しいです。日本は先行の欧米を追いかけるところから始めていることがわかります。
https://www.shmj.or.jp/museum2010/exhibi2420.html
https://www.shmj.or.jp/museum2010/exhibi2437.html
欧米はフォトレジストは大会社の一部門で、会社の合併などに伴って統合されています。日本は化学メーカーが600社あることから分かるように、「小さな池のガリバー」が多く、フォトレジストも専業が多いです。
専業だとベンチャーと同じで生き残りに必死になるのでビジネスが国際化し、筋肉質・効率的な場合もあります。特に化学は小規模の特殊製品(特に液体の混合物)で設備を共通化しにくいものが多いため、小さくて強い会社が多いと思います。
フォトレジストで画期的な概念としては、1982年にIBMで発明された「化学増幅レジスト」は、光が当たると酸を発生する分子が混ぜてある高分子です。これにより微小領域の弱い光でもパターン化できるようになりました。
https://www.japanprize.jp/data/prize/2013/j_1_achievements.pdf
さらに、増感によりもたらされる光強度に対する強い非線形性が微細パターンを作るのに有意義だという話を昨日の講義でしました。litho-etch-litho-etch (LELE)に使っていると思います。

何かに「非線形性」を見つけたら、覚えておいて応用を探していると良いことがあるというのが私の経験です。
最近の進歩として、EUV(極端紫外線、現在は錫を使ったレーザープラズマ発光の波長13.5nmを指す)に対するフォトレジストがあります。EUVには有機高分子よりもカルボキシル配位の金属錯体など無機系を含むポリマーがいいのではないかと思っていましたが、実際に研究されています。
https://www.jsr.co.jp/news/2022/20220802.html
企業では上手くいかないことがわかってから発表することもあるので、本当に使えるかどうかは要検討ですが、これは株主用?のプレスリリースなので本気のように思います。
d電子の光励起による反応や増感剤による錯体の安定度の制御など、化学としてはきわめて面白いと思います。実は私も20年以上前に少し研究していました(可視光です)。
貯蔵中に分解して固形物が出ないようにするのが大変そうですが、そこに高い付加価値があるでしょう。

英語は sensitivityの類義語、対義語などから。https://www.thesaurus.com/browse/sensitivity
sensitivity 感度、感受性
awareness ア「ウェ」アネス 気づき
feeling 感情、知覚、感覚 feelings で喜怒哀楽、情
nervousness 神経過敏、神経質 level 12
anxiety アング「ザ」イエティ 心配
sense 感覚
subtlety 「サ」トるティ 微妙、鋭敏、巧妙、敏感 level 9 漢字にすると複雑ですが、「微細な違い」「微妙」から派生しているのはわかると思います。形容詞はsubtle 「サ」トる
sympathy 共感、同情
acuteness 敏感さ、激しさ、重大性 level 20
consciousness コンシャスネス 意識
delicacy 日本語になっています デリカシー
unconsciousness 無意識の
apathy 無感動、しらけ level 9 アパシー として社会学用語です。
impassivity 無感動、無感覚
insensitivity 鈍感な
numbness 「ナ」ムネス 凍え、しびれ、無感覚、茫然自失 level 14
numb ナム かじかんだ、凍えた、悲しみや疲労で麻痺した、無感覚になった 動詞で、凍えさせる、感覚を無くさせる level 7
numb fingers かじかんだ指  My fingers were numb with cold. 指が寒さでかじかんでいた  She was numb with grief.  悲しみに茫然としていた

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