半導体プロセスについては、東京エレクトロンのサイトに参考になる解説がたくさんあります。
https://www.tel.co.jp/museum/magazine/report/202311_02/?section=3
「3nmプロセス」などは、配線の間隔が3nmではなくて、平面に作ったら3nm相当の密度でトランジスタが配置されている、
ということのようです。実際の寸法はEUVの波長程度です。3次元的に積むことによって小さくしています。
Nanosheet FETやGate All Around FETというようですが、SiとSiGeをエピタキシャル成長で交互に３周期くらい積んで、
SiGeがエッチングされやすいことを利用してSiのシートだけを残します。これにより、ゲート絶縁膜とゲート電極が
Siのシートを取り巻いた構造が縦に並びます。並列になるので、抵抗が低くなり発熱や消費電力がおさえられ、
さらに集積密度も上がります。最初に実現したのは東芝（1988年、フラッシュメモリを発明した舛岡博士ら）で、そのころは寸法が大きかったのですが、3nmプロセス用にインテルが再利用しました。量産はTSMCやSamsungだと思います。
https://xtech.nikkei.com/atcl/nxt/column/18/00001/07897/
https://www.edn.com/all-you-need-to-know-about-gaa-chip-manufacturing-process/
今週はフォトレジストの話をしようと思っていましたが、情報が少なく、あまりできませんでした。特にEUV用のものに興味があります。明日やります。
英語は 積む の類義語を見ましょう。例文はLDOCE (longman dictionary of contemporary English)から
stack 積む、積んだもの
heap 乱雑に積む a large untidy pile of things
a rubbish heap ゴミの山 （部屋を掃除したいです！）
pile 積む、積んだもの a group of several things of the same type that are put on top of each othe
bundle 束ねる、束ねたもの
assemble 組み立てる、集積させる
mound 石を積み重ねて丘のようになったもの。何かを積んだ大きい者 There’s a mound of papers on my desk. 机の上に書類の山ができている。
accumulate 蓄積する
buildup たまる、増える If you don’t express your feelings, frustration and anger can build up. 感情を押し殺していると欲求不満と怒りがたまるかもしれない。
stockpile 蓄える、蓄え a large supply of things that is kept ready for use in the future
store 蓄える、蓄え
load 積み込む
integrate 積分する、合体集積する