世界の研究所 独 Merck Electronics部門

今週は半導体微細加工の講義をもう1回やらないといけないので、フォトレジスト(光のパターンを物質に転写するために使う塗料)に関する資料を集めています。この分野は東京応化工業、JSRなど日本の会社が強いですが、
生々しすぎるので、世界の研究所は初期のフォトレジストの定番であったAZシリーズを現在作っている ドイツのMerck KGaA のElectronics部門を取り上げます。
https://www.merckgroup.com/en/expertise/our-businesses/electronics.html
Merck(メルク)という化学メーカーはドイツのダルムシュタットに本拠がある会社と、米国のニュージャージーにある会社の2つがあるのでややこしいですが、違う会社です。今日はドイツのほうです。
https://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%83%A1%E3%83%AB%E3%82%AF_(%E3%83%89%E3%82%A4%E3%83%84)
https://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%83%A1%E3%83%AB%E3%82%AF%E3%83%BB%E3%82%A2%E3%83%B3%E3%83%89%E3%83%BB%E3%82%AB%E3%83%B3%E3%83%91%E3%83%8B%E3%83%BC
上記を見ればわかりますが、第一次世界大戦時にMerck社の米国拠点を米国が分離させたことが2社の由来です。
AZシリーズは今も使われているフォトレジストですが、もとはドイツ(Frankfurt)のHoechst(ヘキスト)のものです。
Hoechstは今はフランスの製薬会社Sanofi-Aventis社の一部になっているので、その際に電子材料部門を独Merckに譲渡したのでしょう。
最近のフォトレジストのプレーヤーは下記のサイトに詳しいです。この米国ブリガムヤング大のクリーンルームのサイトは半導体にかかわる実験の資料が充実しています(トランジスタやマイクロ流路デバイスの作り方、各種物性定数など)。
https://cleanroom.byu.edu/photoresist-manufacturers
今週は、フォトレジストにかかわる化学を歴史をおりまぜて解説しようと思います。

英語は resist の関連語から
resist レ「ジ」スト 抵抗する、耐久する
withstand ウィずス「タ」ンド 耐える、抵抗する level 6
defy デ「ファ」イ ものともしない、反抗する、無視する level 5 名詞はdefiance 反抗の態度、抗命 He defied his supervisor. 彼は指導教官(上司)に反抗した。  I defy you. 矢でも鉄砲でももってこい(weblio例文)
endure エン「デュ」ア 耐える、我慢して頑張る 名詞は endurance
prevent 予防する
repel リ「ペ」る はじく、寄せ付けない、撃退する、反発する level 9 形容詞 repellant 例 insect-repellant 虫よけ
refuse 拒否する 名詞は refusal
turn down 拒否する
thwart すワート 妨害する、邪魔する、反対する level 11 They were thwarted in their ambitions. 彼らの野望は打ち砕かれた。
curb 名詞は 縁石、(馬具の)くつわ、動詞は くつわをつける、抑制する  You must curb your desires. おぬしは欲望を抑えねばならぬ。 
antagonize アン「タ」ゴナイズ  level 11 敵に回す、反感を買う、~を中和させる Don’t antagonize your supervisor. 指導教員を敵にまわすな。 antagonist 拮抗剤
assail ア「セ」イる 猛攻する、非難する、決然として当たる level 11 They assailed the fortress. 要塞を猛攻した。
assault ア「ソー」るト急襲、強襲、暴行(する) level 5 動詞と名詞が同じ。 They took a fortress by assault. 強襲して要塞を占領した。
baffle 困惑させる、挫折させる、妨げる level 7 名詞は排気装置のバッフルです。 This puzzle baffles me. このパズルには降参だ(weblio)。
bear 産む、耐える、我慢して保持する、名詞は熊
buck 牡鹿、元気な若者、体操の跳馬、名詞は、急に跳ね上がる、(米)頑強に抵抗する、昇進を求める、アメフトでボールを持って敵陣に突入する スイッチング電源でトランスなしでダイオード整流で降圧する方式(buck converter)
contend コン「テ」ンド 争う、戦う、論争する level 5 We contended with each other for the prize. 賞を目指して競い合った
duel 「デュー」エる 決闘、 動詞で決闘する level 11
forbear 「フォ」アベア  慎む、控える、抑える level 14
abstain (from) アブス「テ」イン 控える、絶つ、禁酒する、棄権する level 10
die hard 頑張りぬく、容易に滅びない
hold off 阻止する、延期する、近寄らせない level 9
stand up to ~に対抗する、立ち向かう level 8

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