MEMSを作るときには、シリコンの狙った場所を深彫りしたり、空洞を作りたいときがあります。フッ素系のプラズマも使いますが、XeF2は独特の長所がありよく使われます。
https://ja.wikipedia.org/wiki/%E4%BA%8C%E3%83%95%E3%83%83%E5%8C%96%E3%82%AD%E3%82%BB%E3%83%8E%E3%83%B3
XeF2は有機化学のフッ素化試薬としても使いますが、下記の文献にあるようにXeF2はSi犠牲層エッチングにより中空構造や歯車などを作ることができます。ウェットエッチングでは表面張力による貼り着きが問題になりますが、XeF2はドライで、他のエネルギー源も不要です。
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/68/7/68_379/_pdf
反応式は 2XeF2 + Si → 2Xe + SiF4↑ です。反応は高速で、SiO2や高分子フォトレジスト、Al,Cr, TiNなどはエッチングされない（選択比1000以上）ので、アスペクト比の高い加工が可能です。XeF2は室温蒸気圧4torrくらいの固体で、ニッケル容器等の密閉空間に入れておくと固体として保存できますが、ロータリーポンプレベルで排気すると気化します。昔買おうとしたときは、しばらく使える量が25万円くらいでした（グラム数は忘れました(10g?)）。シリコン表面に吸着すると分解してFが出てエッチングします。
犠牲層 sacrificial layer サクリ「フィ」シャル
sacrifice 「サ」クリファイス 犠牲（にする） 動詞は ≒ give up
After all, work, particularly mule-hard labor, is, like motherhood, a sacrificial virtue.
結局のところ、仕事、例えば母親業のような特に骨の折れる労働は、自己犠牲を伴う美徳である。
mule ミューる ロバ
virtue 「ヴァ」ーチュー 美徳
Brave personal sacrifices are juxtaposed with quirky moments.
勇敢な自己犠牲は非日常的瞬間に隣接して起こる （？ LDOCEの例文ですが、難しい文ですね）
juxtapose 「ジャ」クスタポウズ （比較や新しいものをつくるために）2つのものを隣接させる
quirky クヮーキー unusual, especially in an interesting way.
I like his quirky sense of humor. 彼の変わったユーモアのセンスが好きだ。
貼り着き sticking
xenon ゼーノン キセノン
isotropic gaseous etchant アイソト「ロ」ピック 「ギャ」セアス 「エッ」チャント 等方的気体エッチャント