オランダといえば、半導体装置メーカーのASMLは極端紫外光(EUV)でのリソグラフィ装置(7nm以下)を作れる唯一のメーカーで、2000年代になってからのArF液浸リソグラフィ以降、日本のニコンとキヤノンが持っていたリソグラフィ装置のシェアをほとんど奪ってしまいました。とりあえずニコンは古い特許のライセンス料をもらえたようです。
https://news.mynavi.jp/article/20190403-801385/
https://www.nikon.co.jp/news/2019/0123_01.htm
ASMLは2013年にははArFレーザー光源(波長193nm)のCymer社(米)をM&Aし、液浸光学系やステッパーと組み合わせています。
Cymer社はUniv.California San Diego発のベンチャーですね。
https://www.cymer.com/product/xlr-700ix/
日本で現在リソグラフィ光源を作っているのは建設機械のコマツの子会社のGigaPhotonです。コマツは熱電素子のKELKなど、面白い子会社をいくつか持っています。
https://www.gigaphoton.com/ja/products/excimer-laser/arf-immersion/gt65a
出力、平行度の他にスペクトル幅、安定性などが必要になると思いますので、職人芸が必要です。GigaPhotonの光源はASMLにも納入されています。
https://www.gigaphoton.com/ja/news/6618
M&A 企業の吸収合併 mergers and aquisitions の略です
extreme 極端な
extreme ultraviolet 極端紫外光、波長124nm (10eV) -10nm
10eVは、CaF2のバンドギャップに近い。それ以上のエネルギーになると透明な光学部品を作れないため、反射光学系を用いる必要がある。
deep ultraviolet 深紫外光、300nm~200nm
vacuum ultraviolet 真空紫外光: 大気中でO2に吸収される(約200nm)から、屈折光学部品がなくなる124nmまで(さらに極端紫外光を含むこともある)。伝播には真空が必要になるから。
subsidiary company 子会社 サブシディアリ
branch 支店
compromise 妥協する
concede 譲歩する concession 譲歩
bargaining 交渉 a bargaining table 交渉の席。特価品の机という意味ではありません。bargainには交渉と特価品(a bargain)の2つの意味があるので注意。売り出しは、”sale”だけでOKで、”bargain sale”とは言わない(weblio)。
stability 安定性
craftsmanship, artisanship 職人芸
桁数
femto 10^-15 千兆分の1 1須臾
ato 10^-18 百京分の1 1刹那
zepto 10^-21 十垓分の1 1空
http://www.suguru.jp/learn/small.html